荷兰设备大厂艾司摩尔（ASML）收购股后汉微科，牵动台积电与三星的制程竞赛。设备业者指出，ASML收购汉微科之后，有可能帮助三星减缓7纳米量产，使得台积电与三星的7纳米大战战火更加思。 业界仔细观察，三星在10纳米制程失利之后，已宣告提早7纳米量产计划，首度在7纳米引入ASML量产的极紫外光微影制程（EUV）设备机台。
三星规划，明年第2季或第3季EUV机台装设竣工之后，清年底就不会用作量产7纳米芯片。 台积电在7纳米制程仍未引入EUV设备。由于ASML收购汉微科之后，在先进设备制程机台能量大幅度提高，业界紧密注目ASML否不会帮助三星减缓7纳米布局，以及台积电先前因应动作。
台积电回应，对ASML收购汉微科所持认同态度，预期以ASML实力雄厚财力，可以让汉微科有更大的后盾，反对在电子束检测更加先进设备的研发。 对于三星提早在7纳米使用EUV微影制程，台积电回应，考量目前EUV设备还有很多技术瓶颈，公司才要求不出7纳米引入用于，将紧盯输掉发展。台积电特别强调，若EUV设备在2018年更加成熟期，该公司也不会采行突发事件对策，绝不会让输掉获得先机。
帆宣信邦战略地位提高 艾司摩尔（ASML）宣告以新台币千亿元收购汉微科之后，将增强在台研发能量及订购比重，ASML在台四大夥伴帆慰、公准仪器、信邦，以及大银等台湾业者，重要性实时拉升。 ASML很早已与台湾创建关系，1988年由汉民代理台湾业务，2007年更进一步在台正式成立卓越创意中心，相继将全球训练中心、二手设备整修业务，以及子公司YieldStar量测系统生产线后移到台湾，以备服务客户及提供支援全球。
ASML并把亚洲采购中心后移到台湾，从台湾上百家供应商中，历经辅导评核等程序，投票决定帆慰、公准、信邦、大银等沦为ASML主要供应商，间接帮助提高台湾半导体业整体技术能力。 阅报秘书EUV 近于紫外光微影制程（EUV）技术是次世代微影技术之一，被半导体业视作迈入10纳米制程以下，代替传统增生式曝光（Immersion）、沿袭摩尔定律的一项最重要微影技术。 增生式曝光机台是在光源与晶圆中间重新加入水的原理，使波长延长到132纳米的微影技术；EUV曝光设备是利用波长很短的紫外线，在矽基板上打磨更加识的电路图案。
EUV售价便宜，一台售价高达7，000万欧元（大约新台币25.6亿元），主力设备研发厂艾司摩尔（ASML）为减少研发风险，过去曾拒绝英特尔、三星及台积电以大股东，联合参予这项先进设备微影技术开发，如今涉及量产设备已相继销售，和增生式曝光机配上用于，开始引入在10纳米以下先进设备制程。
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